三維輪廓儀是一種用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的測量和計量設(shè)備。它不僅可以用于科學(xué)研究，還可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測，該儀器可被視為表面研究的萬用表。它利用接觸和非接觸功能的設(shè)計特點(diǎn)，彌補(bǔ)了兩種模式的局限性，發(fā)揮了表面形貌儀的測量極限。光學(xué)非接觸式具有速度快、直接三維成像、對樣品無損傷等特點(diǎn)。探針接觸模式方便快捷，樣品制備簡單，測量材料廣泛。兩種模式結(jié)合使用，可用于研究更多形狀、性質(zhì)和材料的樣品的表面形態(tài)。
 

　　

　　1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度、波浪度、表面結(jié)構(gòu)、缺陷分析、晶粒分析等。

　　

　　2、二維圖像分析：距離、半徑、斜率、網(wǎng)格、輪廓等。

　　

　　3、表面和界面測量：透明表面形態(tài)，薄膜厚度，透明薄膜下的表面。

　　

　　4、薄膜和厚膜的階梯高度的測量。

　　

　　5、劃痕形態(tài)、摩擦和磨損深度、寬度和體積的定量測量。

　　

　　6、微電子表面分析和MEMS表征。

　　

　　三維輪廓儀是一種自動測量設(shè)備。在測量表面輪廓時，操作者需要先安裝好輪廓模塊，然后安裝好待測工件，在驗證軟件上設(shè)置好掃描的開始和結(jié)束位置，點(diǎn)擊"開始"按鈕，測量針會自動接觸工件表面，并按照設(shè)定的位置進(jìn)行掃描；在輪廓掃描過程中，軟件界面會實時繪制輪廓曲線；掃描結(jié)束后，操作者可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線，得到直線度、圓度、角度、距離和間距等輪廓參數(shù)。

　　

　　三維輪廓儀的維護(hù)說明。

　　

　　1、測量結(jié)束后，退出系統(tǒng)，關(guān)閉電腦，切斷電源。

　　

　　2、測量結(jié)束后，用棉花和航空汽油清潔工作臺和夾具，并涂上防銹油。

　　

　　3、注意儀器附件的防銹。

　　

　　4、定期清洗導(dǎo)軌（具體周期視環(huán)境而定），保證導(dǎo)軌的精度。